設齋食供養僧眾。又作僧齋、施僧、飯僧。略稱齋。兼指入寺供養或延僧至俗家供養。依受供養僧侶之數目多寡,又有五百僧齋、千僧齋、萬僧齋之別。齋僧且須依僧次延請,禪苑清規卷十齋僧儀條(卍續一一一·四六五上):‘齋僧之法,以敬為宗,但依僧次延迎,不得妄生輕重。’又齋僧之功德大、小,亦視受供養僧侶之善惡,持戒與否及果位階次而不同。據普賢經記載,大臣、婆羅門、居士、長者、宰官等,應供養持大乘者,以齋僧作為懺悔法之一。梵網經卷下謂,父母、兄弟、和尚、阿阇梨等亡滅之日及三七日乃至七七日,應讀誦講說大乘經律、設齋會以祈福。齋僧始設之原意在于表明信心、歸依,后漸融入祝賀、報恩、追善之目的,而使齋僧更形普遍化。
我國唐代僧齋法會極為盛行,于大歷七年(772)、貞元年間(785~805)、咸通十二年(871)等,皆曾舉行萬僧齋。此外,印度、日本皆盛行齋會,千僧齋、萬僧齋等盛大之法會亦多。又于錫蘭,佛教徒延僧應供之儀式,稱為齋僧法會(巴San%ghikada^na )。施主齋僧須親往寺廟迎請僧眾至家,從比丘受三歸五戒,然后將食物送至比丘手中,食畢,復送日用品供養。后比丘為其全家誦經祝福并說法,贊頌其布施功德,然后由施主送比丘回寺。